【每日科普】掺杂金刚石单晶的氧化机制

关键词 金刚石|2025-07-11 11:44:35|来源 中国超硬材料网
摘要 ​金刚石从制造到使用需经历两次高温,尤其是在使用过程中,工作温度可达到1000℃,因此金刚石的高温抗氧化性(即高温强度)被作为确定金刚石应用领域的最重要性能指标之一......

金刚石从制造到使用需经历两次高温,尤其是在使用过程中,工作温度可达到1000℃,因此金刚石的高温抗氧化性(即高温强度)被作为确定金刚石应用领域的最重要性能指标之一。国内外研究者对CVD金刚石薄膜的氧化过程进行了大量研究,发现金刚石薄膜的起始氧化温度为550℃,由于(111)面的表面活化性高及缺陷密度大,使得氧化反应优先在(111)面上发生;掺杂金刚石薄膜的氧化速度是非掺杂金刚石薄膜的十分之一;氧化速度随表面积增加而增大,同时随湿度增加而降低。研究认为,氧化速度减慢是由于氧化过程中金刚石薄膜表面生成的B2O3薄膜起到了屏障作用。


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