金刚石从制造到使用需经历两次高温，尤其是在使用过程中，工作温度可达到1000℃，因此金刚石的高温抗氧化性(即高温强度)被作为确定金刚石应用领域的最重要性能指标之一。国内外研究者对CVD金刚石薄膜的氧化过程进行了大量研究，发现金刚石薄膜的起始氧化温度为550℃，由于(111)面的表面活化性高及缺陷密度大，使得氧化反应优先在(111)面上发生;掺杂金刚石薄膜的氧化速度是非掺杂金刚石薄膜的十分之一;氧化速度随表面积增加而增大，同时随湿度增加而降低。研究认为，氧化速度减慢是由于氧化过程中金刚石薄膜表面生成的B2O3薄膜起到了屏障作用。
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