近日，山东省工业和信息化厅发布了《2026年度山东省首台（套）技术装备企业及产品名单的公示》，拓荆科技（青岛）有限公司自主研发的915MHz微波等离子体化学气相沉积设备DIARACO20成功入选。

       首台（套）技术装备是指在国内实现显著技术突破、拥有自主知识产权、处于市场推广初期、尚未形成竞争优势的整机装备、核心系统及关键零部件，是衡量企业核心竞争力、体现制造业高质量发展水平的重要标志之一。

       此次入选的915 MHz微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备主要用于大尺寸、高性能金刚石薄膜沉积，是高端半导体材料制备的关键装备，也代表了该企业在技术突破与产业自主可控方面获得了省级官方认可。

       据了解，拓荆科技（青岛）有限公司位于青岛西海岸新区，是拓荆科技股份有限公司的控股子公司，专注半导体高端薄膜沉积设备及核心组件，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备等。

       该公司年产100台套的先进半导体设备项目在今年八月刚刚通过节能验收，该项目主要生产系统包括组装MPCVD薄膜设备生产线1条，并进行MPCVD薄膜设备薄膜沉积工艺的研发，项目建成后，年产先进半导体设备100台套。

       此次入选，既是对拓荆科技（青岛）自主创新能力的权威认可，也标志着山东在金刚石薄膜沉积装备领域迈出关键一步。随着年产100台套项目逐步达产，DIARACO20有望加快市场验证与批量应用，推动金刚石薄膜装备国产化替代，为青岛“芯屏产业”壮大和全省高端装备高质量发展注入新动能。