又一8英寸MPCVD金刚石生产线投产

关键词 金刚石|2026-04-30 14:56:07|来源 DT半导体
摘要 4月23日,乾晟超硬材料有限公司在东莞宣布,其自主研发的MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)8英寸金刚石生产线正式实现全线投产,并同步完成与两家产业链企业的战略签约。本次投产的8...

4月23日,乾晟超硬材料有限公司在东莞宣布,其自主研发的MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)8英寸金刚石生产线正式实现全线投产,并同步完成与两家产业链企业的战略签约。

       本次投产的8英寸金刚石生产线,基于乾晟自研的10千瓦以上微波功率设备,可实现大尺寸、高纯度单晶金刚石的稳定量产。从关键工艺指标来看,团队通过持续优化,将长晶生长速率由早期的0.5μm/h提升至7μm/h~15μm/h,在保证材料质量的同时显著提高了生产效率。在材料性能方面,所制备的单晶金刚石在热导率、电学性能及耐磨性等关键指标上接近天然金刚石水平,可应用于高功率半导体散热、激光窗口等场景。随着高算力芯片和高功率器件对热管理与极端性能材料需求的持续增长,相关产品具备较明确的应用空间。

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       除生产线投产外,乾晟还与集成电路企业及供应链企业达成合作,将围绕金刚石材料、半导体器件及供应链协同展开联动,推动从材料端到应用端的协同发展。这类合作有助于打通金刚石材料在半导体领域的应用路径,加快产业化进程。

       从技术积累来看,乾晟自2019年起布局MPCVD长晶技术研发,核心团队由具备微波等离子体系统开发经验的专业人员组成,并已完成多代设备迭代升级。在此基础上,公司逐步构建了覆盖设备、工艺与材料的技术体系,为此次8英寸产线落地提供支撑。

       总体来看,8英寸MPCVD金刚石生产线的投产,不仅体现了企业在大尺寸单晶金刚石制备方面的技术进展,也反映出国内在高端金刚石材料领域向规模化与产业化推进的趋势。随着下游半导体、先进光学及极端环境应用需求的释放,相关技术与产业链协同仍有进一步拓展空间。

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