《半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘》国家标准征求意见稿已由标准工作组起草完成,经全国磨料磨具标准化技术委员会秘书处审核同意,现面向社会广泛征求意见。征求意见截止日期为2026年2月27日,若有意见,请填写《意见反馈表》,发邮件至标委会秘书处。
联系人:张良
电话:0371-67614280
邮箱:sactc139@126.com
附件
1. 标准征求意见稿及编制说明.zip
半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘-征求意见稿-编制说明.pdf
2.意见反馈表.docx
《半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘》国家标准征求意见稿已由标准工作组起草完成,经全国磨料磨具标准化技术委员会秘书处审核同意,现面向社会广泛征求意见。征求意见截止日期为2026年2月27日,若有意见,请填写《意见反馈表》,发邮件至标委会秘书处。
联系人:张良
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邮箱:sactc139@126.com
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